“这些CMP技术也要交给我们俩弄吗?”
今天得到信息量太大了。两个年轻人很有种目不暇接的感觉。
多重图案技术,一听就明白,也就敢照亮照亮。但是CMP技术,涉及的就是就是真刀真枪了。
机械研磨,研磨液怎么办,研磨速度,机加工精度,这里面就没有一个是简单的。
他们两个与成永兴多少面临同样的问题,那就是毕竟学习时间太短,基础知识不牢靠。
“这几个技术,我会交给其他人进行研发。”
这个CMP技术,也很重要,但它就没有保密的必要了。因为它本身就是一个公开的技术。现在就是比,谁先采用了。早采用,早受益。它完全可以光明正大的搞起来。
这也是为什么这个技术,被叫做真1微米的原因。
CMP技术摆在前台做幌子,多重图案技术藏在后面。
“是要交给赵主任他们吗?”
“我会另外安排。你们就不用管了。”
这确实是个令人头疼的问题。
工大在集成电路工艺上面,这两年也做出了些成果,但毕竟底蕴不足。
另外,术业有专攻。只靠一个专业的十几个人,去包打天下,根本就不现实。
赵主任领着一群弟子,已经在集成电路设计方面,狂奔了起来。那么就让他们继续走下去吧。
这些技术,很多都是系统性的。它甚至不是靠一两台设备,一两个设备厂家能搞定的。
引入第三方力量,就是必须。
不过这个事情不急。幌子的作用,主要还是幌子。
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“我们现在干什么?”
“第一步还是先来验证概念,另外要试验一下,看LELE和SAMP这两条路,哪一条更容易实现,难度最低。”
多重图案技术法,有两条实现路线。一条是LELE,另一条是SAMP.
LELE是将设计版图分解成两套独立的低密度图形,通过两次单独曝光和两次单独刻蚀,然后叠加在一起,形成更精细的图案。
SAMP是通过一次光刻形成核心图形,然后通过沉积(Deposition)在核心图案两侧形成侧墙(SideWall),最后通过刻蚀(Etch)和修剪曝光来实现所要的图形。
“这两条路,是你提出来的,你自己不知道?”
严亮觉得这个事情有点奇怪。
“我又没有自己动手做过,我哪里知道?”
“这真是你自己的想法?”
“你问这么多干什么?好奇心太大,会害死猫,你不知道吗?”
“我们又不是猫!不说算了,谁稀罕!”
一个人又不是生活在真空里,只要时间长了,总是要漏出些马脚的。以前,成永兴每次还会去找借口解释,慢慢的,他连借口都懒得找了。
这也是他只相信身边这几个人的缘故。至少这些同学,同乡,他信得过。
可惜了,当初的黄埔军团,只剩下这两个人。由于缺乏可信助手的缘故,他的很多想法,都无法执行了。
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“这样搞的话,908工程根本就没有必要了啊!如果是这样,能不能跟国家说说,把908工程的经费要过来一部分?”
“国家的拨款,你们就不用考虑了。908计划,国家到最后也没有给拨款,他们跟我们实际没有什么区别,都是银行贷款。”
“到最后?这你是怎么知道的?算了,我不问了。”
光电在全力冲刺LCD的产能,二号线,已经到了花钱如流水的阶段。
这又是一笔以亿为单位的投资,只靠光电自身资金,是支撑不起的。真正支撑光电进行大规模投资,实际是银行借款。
这两年,光电算是把冰城各大银行都借遍了。
冰城很多企业,跑到市政府去告状,说他们的正常经营活动受到了影响。这些企业,都是正牌的国营企业,他们的声音也是很响亮的。
这种声音,其实去年就有。
光电集团的出现,确实对冰城的社会资金产生了挤占效应。光电拿到的银行贷款多了,自然,其他企业得到的银行贷款也就相应减少。
尤其在1991年三角债最严重的时期,光电的出现,使得很多企业的经营状况,雪上加霜。
但光电的出现,也不完全是负面效应。首先是LED产业链的兴起,激活了整个电子企业。这些本来是负担最重的一批企业,不需要政府救济了。
其次,光电的销售市场,基本上都是面向国际市场,所以它带来的资金完全属于额外的资金。这部分的外汇收入,到了国内,则需要被兑换为人民币,这种人民币,就属于额外增发出来的。也就是说,冰城的银行系统里,就会多出等量的资金。
正负相抵,大体持平。但具体到某些企业上,就很难说了。
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“没有国家的投资,那建晶圆厂的投资从哪里来?你准备晶圆厂和TFT-LCD,两条路同时进行吗?”
光电已经欠了一屁股债。欠银行的,欠设备供应商的,欠施工单位的。要不是看在大屏LED这棵摇钱树的面子上,早该围上来追款了。
“第一,这个晶圆厂,不会这么快启动。这个工程的启动,至少要等LCD项目上正轨,也就是《全彩科技》挣钱以后才会进行。”
“那大概是什么时候?”
“我的预期,也许是年底,也许是明年。”
建立一个新的晶圆厂,需要准备的工作很多。它不仅仅是厂房,而且包括人力资源。
TFT-LCD的人力资源,实际是通过LED产业训练出来的。
“第二个,新工厂投资不会这么大。我们也没有必要一次就追求太高的产线指标。”
成永兴在研究历史上几个重大项目的时候,总是不能很好理解过去人的一些思路。
以908为例子,这个工程的目标是,月产1.2万片、6英寸、0.8-1.2微米的芯片生产线。
而此时中国的实际工艺水准,是4-5英寸,2-3微米。这样的话,908工程的目标里,实际上包含了两个大的进步,一个是,4英寸-6英寸。另一个是2微米-1微米。
那么问题来了,为什么要把两个大的进步,放在一个项目里去实施呢?
一个个来不好吗?解决了一个,再去解决另一个。
过高的标准,导致项目的难度加大,最后耗时七年才完成。结果一建成,就过时。
成永兴已经习惯了小步快跑的前进方法,对这种每次上大台阶的做法,实在是不习惯。
LED时代,《巨大高科》是以季度为单位进行技术演进。
LCD时代,《全彩科技》以半年为周期,向前进化。
到了晶圆时代,前进的脚步,最多是以年为单位。钱砸下去,马上要看到水花。
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“我们两个要怎么分工?”
“这次的多重图案技术验证,以叶静为主。”
成永兴想了一会,觉得叶静这种沉稳的性格,会更加合适一些。
多重图案技术,思路上非常简单,但历史上,不少企业都在这个工艺上栽了跟头,说明它还是有些难度的。
不过成永兴也有他的优势。那就是他所知道的信息,都是各厂家千锤百炼的结果。
这就好像,在液晶技术里,他只熟悉TFT技术一样。CSTN是怎么回事,里面有什么技术诀窍,他根本不清楚,因为后世对这种被淘汰的技术,不怎么关注了。
不管怎么说,这个技术的难度只是使用方式方法的问题,绝对不存在做不到的问题。